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氦质谱检漏设备故障排除与维护保养

来源:电脑编程技巧与维护 【在线投稿】 栏目:期刊导读 时间:2021-03-19

【作者】网站采编

【关键词】

【摘要】氦质谱检漏设备是运用高真空与电子学原理的精密设备,以氦气作为探测气体对部件的漏点及漏率进行检测,由于设备组成复杂,对其故障排除及维护保养难度大,本文主要对设备经常发生的

氦质谱检漏设备是运用高真空与电子学原理的精密设备,以氦气作为探测气体对部件的漏点及漏率进行检测,由于设备组成复杂,对其故障排除及维护保养难度大,本文主要对设备经常发生的故障进行总结,提出排除故障的常用方法,梳理设备维护保养的关键内容,为从事相关专业的人员提供参考。

文章来源:《电脑编程技巧与维护》 网址: http://www.dnbcjqywh.cn/qikandaodu/2021/0319/808.html

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